橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空?？蓽y的材料包括：半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機物、金屬、多層膜物質(zhì)?？梢詰?yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

　　主要功能：

　　測量樣品的偏振參量信息等，可用于在線監(jiān)測，也可用于離線的樣品測試；可使用不同大小的光斑探測樣品。

　　橢圓偏振儀的調(diào)整要點主要步驟：

　　1、調(diào)整分光計；

　　2、調(diào)共軸（注意：用校光片，先不放檢偏器調(diào)，可以用白紙防在望遠(yuǎn)鏡的目鏡處看光點是否在中央;然后放上檢偏器再調(diào)，注意令水平盤的О對準(zhǔn)游標(biāo)的0）；

　　3、定檢偏器的位置（望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)66°，加黑色反光板，檢偏器90°向上，使探測器光強達(dá)到小，整體轉(zhuǎn)檢偏器合適后固定）；

　　4、定起偏器的位置（望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)回到與平行光管對正，起偏器О°向上，空載物臺，整體轉(zhuǎn)起偏器達(dá)到光強小后固定）；

　　5、安裝1/4波片，定1/4波片的0位（只轉(zhuǎn)波片，不要轉(zhuǎn)手動輪，使光強達(dá)到小）；

　　6、望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)40°，放樣品；

　　7、將1/4波片的手動輪轉(zhuǎn)+45°和-45°，輪流轉(zhuǎn)檢偏器和起偏器達(dá)到光強讀數(shù)小，開始讀取分光計的讀數(shù)。

　　注意事項：

　　1、個實驗過程中不得旋動平行光管，以保證入射面不改變，否則會改變S，Р坐標(biāo)軸的方位而使起偏器零點的位置發(fā)生改變。

　　2、整個實驗過程中，特別是轉(zhuǎn)動望遠(yuǎn)鏡時，不得調(diào)節(jié)望遠(yuǎn)鏡鏡筒的高低。