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系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測(cè)量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測(cè)量技術(shù)，是國(guó)內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測(cè)的系統(tǒng)。